Caracterisation de dépôts multicouches TiCxNy et Al2O3 sur WC : analyse quantitative par SIMS

La quantification en Spectrometrie de Masse des Ions Secondaires (SIMS) est un probleme recurrent depuis la creation de cette technique d'analyse. Le but de ce travail etait de proposer d'autres voies permettant d'acceder a la concentration des elements constitutifs d'un echantillon inconnu avec certitude. Pour cela nous avons decide d'explorer diverses voies, certaines deja etudiees (MCs+ et bombardement oxygene) et d'autres plus originales (EEF/OF). La technique d'analyse EEF/OF se caracterise par du bombardement primaire oxygene, une energie initiale des ions secondaires de 600eV et du soufflage d'oxygene en surface de l'echantillon. Le pouvoir quantitatif de ces trois methodes a ete teste sur des standards de calibration puis sur des echantillons multicouches a base titane et aluminium au travers de la determination du rendement utile des elements. . Notre etude nous a montre que malgre sa tres grande sensibilite de detection la technique par bombardement oxygene ne sera jamais une technique quantitative. Elle nous montre que les deux autres techniques ont un pouvoir quantitatif certain: la technique EEF/OF a un fort pouvoir quantitatif pour les elements majeurs d'une matrice, elle ne permet pas d'analyser l'oxygene et sa limite de sensibilite de detection ne permet pas de detecter ou de quantifier certains elements mineurs. Cette technique est complementaire de la technique MCs+ qui permet de detecter l'oxygene et dont la limite de sensibilite de detection est plus importante. Par contre la technique MCs+ montre des ecarts plus importants que la technique EEF/OF entre les concentrations calculees et les concentrations reelles pour la plupart des elements.