The reflectivity measurement of the 28.5nm multilayer mirror

在“星光 Ⅱ”装置上以类Ne铬x射线激光作为标定源 ,以平场光栅谱仪为分光元件进行了 2 8 5nm的Mo Si多层膜反射镜效率测量 .介绍了实验方法 ,给出了实验结果 ,本次研制的两块多层膜镜反射率分别为 3 1%和 9.6 % .