Substrat en ceramique

L'invention concerne un substrat en ceramique presentant des caracteristiques satisfaisantes d'elevation de temperature, de tension de claquage a une temperature elevee et de module de Young, et pouvant notamment etre utilise comme substrat destine a un appareil de production/inspection de dispositifs a semi-conducteur. Un conducteur est forme a la surface ou a l'interieur de ce substrat en ceramique, lequel se caracterise en ce que le niveau de fuite mesure par un detecteur d'helium est inferieur a 10?-7 Pa x m3?/sec (He).