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BClx+,SiClx+イオン照射によるHfO2エッチング反応のエネルギー依存性
BClx+,SiClx+イオン照射によるHfO2エッチング反応のエネルギー依存性
2004
karahasi kazuhiro
mituse nobuyuki
yamagisi nobuhisa
horikawa tuyosi
tyoukai mei
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