薄膜積層体、薄膜電池、コンデンサ、及び薄膜積層体の製造方法と製造装置

(57)【要約】 【課題】 層間の接続信頼性が向上し、側面に保護層を 形成したときの形成性と付着強度が向上した薄膜積層体 を提供する。 【解決手段】 少なくとも第１薄膜層と第２薄膜層とか らなる積層単位を少なくとも２回以上繰り返して積層し てなる薄膜積層体であって、前記第１薄膜層及び前記第 ２薄膜層のうちの少なくとも一方の積層面積を、下層か ら上層に向かって逓減させる。