Schichtsystem mit barriereeigenschaften und einer strukturierten leitfähigen schicht, verfahren zum herstellen sowie verwendung eines solchen schichtsystems

Die Erfindung betrifft ein Schichtsystem, umfassend ein Substrat (1), auf welchem zunachst mindestens eine Barriereschicht (2), gefolgt von einer als Atz-Stopp-Schicht wirkenden Zwischenschicht (3) und anschliesend mindestens eine elektrisch leitfahige Schicht (4) abgeschieden sind und wobei die elektrisch leitfahige Schicht (4) mit nasschemischen Atzmitteln strukturiert ist. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Herstellen sowie Verwendungen eines solchen Schichtsystems.