樹脂組成物、ワニス、樹脂膜及びそれを用いた半導体装置
2007
本発明は、高耐熱性及び低誘電率を発現する樹脂組成物、そのワニス、樹脂膜及びそれを用いた半導体装置を提供することを主目的とする。
本発明は、一般式(1)で表される構造を有する化合物と架橋剤とを含む樹脂組成物により、上記課題を解決した。
[式(1)中、R0は、単結合、又は、一般式(2)で表される構造である。R1からR8は、水素、脂環式構造を有する基、該脂環式構造を有する基以外の炭素数1以上10以下の有機基、ヒドロキシル基及びカルボキシル基のいずれかを示す。Xは、-O-、-NHCO-、-CONH-、-COO-及び-OCO-のいずれかを示す。式(2)においてArは芳香族基を示し、Yは、単結合、-O-、-S-、-OCO-及び-COO-のいずれかを示す。qは1以上の整数である。R9は、水素又は炭素数1以上の有機基を示し、qが2以上の整数である場合、R9は互いに同じであっても異なっていても良い。R0が単結合のとき、R1からR8の少なくとも1つが前記脂環式構造を有する基である。また、R0が一般式(2)で表される構造であるとき、R1からR9の少なくとも1つが脂環式構造を有する基である。*及び**は、他の化学構造と結合する部位を示す。]
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