Ondes élastiques transverses horizontales émises par des transducteurs interdigités déposés sur des plaques minces de quartz : applications aux capteurs de viscosité et aux détecteurs de gaz

1991 
Les ondes de volume de polarisation tranverse horizontale (T. H. ) sont, dans cette etude, excitees et detectees electriquement par des transducteurs interdigitees (I. D. T. ). Les conditions de leur excitation sont exposees. Elles sont relatives a la symetrie cristalline des materiaux piezoelectriques et a la direction de propagation. Cette direction etant determinee par la frequence d'excitation, les ondes T. H. Peuvent etre guidees dans un[e] plaque mince de quartz et se propager selon des modes (modes de plaque) a des frequences discretes tres elevees; Nous montrons que les parametres geometriques (dimensions de la plaque et des I. D. T. ) des dispositifs a ondes T. H. Guidees, ont un role determinant sur leurs caracteriques a la fois frequentielles et temporelles. Par modification des conditions aux limites sur la surface libre disponible dans ces dispositifs, diverses applications aux capteurs sont etudiees, a la fois theoriquement et experimentalement. L'etude de l'interaction sur cette surface entre l'onde T. H. Et un liquide aboutit a une utilisation de ce dispositif en tant que viscosimetre acoustique, detecteur de presence de liquide, et detecteur de transitions de phases du type "liquide solide". Dans ce dernier cas, l'evaluation de la vitesse de ces transitions est possible en raison d'un fonctionnement a tres haute frequence (200 MHz). Quant a la detection de gaz, son principe est base sur la perturbation de la vitesse de l'onde elastique par variation de la masse de gaz absorbee par une couche de faible epaisseur, deposee sur la surface d'interaction et sensible selectivement au gaz detecter.
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