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Acemap > Paper > Si基板表面平坦化によるHf系MONOS構造の電気特性向上に関する検討 (シリコン材料・デバイス)

Si基板表面平坦化によるHf系MONOS構造の電気特性向上に関する検討 (シリコン材料・デバイス)

2016 
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