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フェライト薄膜用ECRスパッタ装置 (特集 半導体・FPD・新素材の検査/製造装置)
フェライト薄膜用ECRスパッタ装置 (特集 半導体・FPD・新素材の検査/製造装置)
2005
yosihiro simozato
sigenobu okada
Keywords:
Ferrite (magnet)
Thin film
Metallurgy
Materials science
Deposition (law)
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