Исследование физического распыления углерод-керамического композита ионной бомбардировкой

Приводятся результаты экспериментального исследования и компьютерного моделирования распыления углерод-керамического композита СГ-П-0.1 при облучении ионами Ar+ с энергией 30 кэВ при нормальном падении. Сравнение с данными моделирования показало, что учет нанометрического волнообразного рельефа хорошо описывает наблюдаемое в эксперименте повышение примерно в три раза коэффициента распыления по сравнению с расчетом для гладкой поверхности.