Procede de generation et d'utilisation d'un programme de controle de traitement de plasma

L'invention concerne un procede de generation et d'utilisation d'un programme de controle de traitement de plasma. Le procede consiste a obtenir des donnees de procede predeterminees definissant dans une serie de phases temporaires, des changements au niveau d'au moins un parametre de controle pour le procede de plasma pendant ledit procede. Des donnees de controle sont generees a partir des donnees de procede, les donnees de controle definissant ledit au moins un parametre de controle au niveau d'une pluralite de temps discrets dans chaque phase. Les donnees de controle sont presentees graphiquement a un utilisateur, a l'aide d'un dispositif d'affichage interactif. Les donnees de controle sont modifiees en reaction aux sollicitations de l'utilisateur du dispositif d'affichage interactif, de facon a generer le programme de controle.