光電変換装置及びその駆動方法、並びにその製造方法、固体撮像装置及びその駆動方法、並びにその製造方法

【課題】 高い感度特性と、界面準位の低下からの暗電流の増大を抑えることを同時に達成することが可能な光電変換装置を提供する。 【解決手段】 基板１の表面に、光電変換部３が形成されており、基板１上に絶縁膜１１が形成され、光電変換部３の基板１と絶縁膜１１との界面の少なくとも一部に、基板１の厚さ方向に凹凸形状を有した凹凸部１８が形成され、光電変換部３内で凹凸部１８の少なくとも一部を含むように、暗電流を低減するための再結合領域１９が形成された光電変換装置１００を構成する。 【選択図】 図１