SÍNTESIS DE BICAPAS NANOESTRUCTURADAS DE DLC/BN SOBRE SUSTRATOS DE Si/Si 3 N 4 MEDIANTE DEPOSICIÓN DE LÁSER PULSADO ( SYNTHESIS OF DLC/BN NANOSTRUCTURED BILAYER ON Si/Si 3 N 4 SUBSTRATE GROWN BY PULSED LASER DEPOSITION )

Las peliculas delgadas de carbono tipo diamante (DLC) y nitruro de boro (BN) fueron depositadas sobre sustratos de nitruro de silicio en forma de bicapa, mediante la tecnica de deposicion por laser pulsado (PLD). La deposicion se realizo con un laser Nd: YAG con longitud de onda de 1064 nm, energia de 500 mJ por pulso, 9 ns de duracion de pulso y tasa de repeticion de 10 Hz. El crecimiento de la bicapa de DLC/BN se realizo en una atmosfera de argon, utilizando grafito y nitruro de boro como blancos con pureza (99,99% y 99,98%) respectivamente, la fluencia del laser se mantuvo constante en 2 J/cm 2 y durante el crecimiento se vario la temperatura del sustrato de 25 °C a 300 °C. El espesor fue determinado mediante perfilometria. Las peliculas fabricadas se caracterizaron por difraccion de rayos X (XRD) y espectroscopia infrarroja con transformada de Fourier (FTIR); la composicion quimica se analizo mediante espectroscopia de rayos X por dispersion de energia (EDS), el estudio morfologico superficial se llevo a cabo mediante microscopia electronica de barrido (SEM), observandose de este modo una dependencia de la morfologia como funcion de la temperatura de deposito. The Diamond like carbon and boron nitride (DLC/BN) bilayer thin films were deposited onto silicon and nitride silicon substrates (100), by pulsed laser deposition system (PLD). The deposition was conducted with Nd:YAG laser with a wavelength of 1064 nm. The growth of bilayer was carried out under argon atmosphere, using graphite and boron nitride targets both of high purity (99.99% and 99. 98%) respectively. The laser fluence was kept constant at 2 J/cm 2 during deposition processes; the substrate growth temperature was varied from 25°C to 300°C. The thickness was determined with a profilometer. The films produced were characterized by X-ray diffraction (XRD), spectroscopy Fourier transform infrared (FTIR), the chemical composition was analyzed via Energy Dispersive X-ray (EDS). The morphological study was analyzed via scanning electron microscopy (SEM), observing a morphological dependence as function of temperature deposition.