High-temperature Decomposition of SF6 Gas and Dry-fixation of the Gaseous Decomposition Products

地球温暖化係数がCO2ガスの23,900倍と極めて高いSF6ガスを分解·固定化して, 再資源化するための技術開発に向けて, その基本要件となるSF6ガスの高温熱分解特性を実験的に調べた. さらに, SF6熱分解ガスを炭酸水素ナトリウムまたは炭酸カルシウムと気固反応させ, 得られたフッ化物の純度を調べた.SF6は水素とともに熱分解することで, 約1,000°Cの温度で99%以上分解し, その分解反応速度はSF6濃度に対する1次の速度式で整理できることを明らかにした. また, SF6ガスの分解反応速度定数のアレニウスプロットから, SF6分解反応の頻度因子(2.08×103s-1)および活性化エネルギー(8.314×104J/mol)を明らかにした. さらに, SF6分解ガス中のフッ化水素と硫化水素は, 炭酸カルシウムまたは炭酸水素ナトリウムと気固反応させることで分離でき, 再資源化しやすい純度のフッ化物(CaF2:98%以上, NaF:99%以上)が得られることを明らかにした. これらの結果から, SF6ガスの熱分解·再資源化技術の実現可能性を明らかにした.