光照射装置、面形状検査システム、および面形状検査方法

【課題】車両ボディ表面などの凹曲面又は凸曲面等の複雑な曲面を被検査面とする面形状検査において、受光手段が捉えた被検査面の任意の位置において像対象物の鏡像が映るようにして、一度の検査で被検査面の曲面形状を残らず検出することのできる技術を提案する。 【解決手段】被検査面Ｆを略中心として放射状に、且つ、併せて検査面を包囲する円弧を成すように、複数が略平行に配列されている略直線状の光線照射部２１ａ・２１ａ・・・を備えた像対象物２１から、被検査面Ｆに光線束を照射することによって、該被検査面Ｆに明部と暗部とを形成する。そして、被検査面Ｆの明部と暗部の表れ方や形状等に基づいて該被検査面Ｆの形状を特定し、品質の良否を判定する。 【選択図】図５