Verfahren und Anordnung zur Erhöhung der spektralen und räumlichen Detektorauflösung

Verfahren zur optischen Erfassung von charakteristischen Grosen einer beleuchteten Probe, wobei das von der Probe ruckgestreute, reflektierte und/oder fluoreszierte und/oder transmittierte Signal mit einem ortsauflosenden Detektor detektiert wird, indem die von der Probe kommende Strahlung aus den Detektor abgebildet wird, wobei die Lage der ortsaufgelost gemessenen Strahlung relativ zum Detektor verschoben wird und mittels eines Algorithmus aus den bei verschiedenen Verschiebungen gemessenen Signalen Zwischenwerte zum Zwecke der Erhohung der Ortsauflosung des Detektors ermittelt werden, wobei vorteilhaft die Schrittgrose der Verschiebung unterhalb des Rastermases der Ortsauflosung des Detektors liegt und eine Verschiebung des Detektors in Richtung seiner Ortsauflosung und/oder eine Verschiebung oder Verschwenkung eines abbildenden Elementes in mindestens einer Achse und/oder eines reflektiven Elementes in mindestens einer Achse und/oder eines dispersiven Elementes in mindestens einer Achse erfolgt und eine spektral aufgeloste Messung von Spektren uber ein dem Detektor vorgeordnetes dispersives Element erfolgt.