Procede et dispositif servant a mesurer simultanement des proprietes multiples de films multicouches

L'invention concerne un procede et un dispositif servant a mesurer simultanement des proprietes multiples d'un echantillon compose de couches multiples de films. L'operation de mesure comporte plusieurs etapes. En premier, au moins une source de rayonnement d'excitation irradie la surface de l'echantillon afin d'exciter un mode acoustique. Une source sonde de rayonnement irradie le mode acoustique et est diffractee hors de la surface de l'echantillon afin de creer un faisceau de signalisation. Un detecteur detecte le mode acoustique afin de generer un faisceau de signalisation qui est ensuite analyse, de maniere a determiner une frequence et une amplitude acoustiques, une profondeur de modulation ou une constante de chute. On continue a analyser ces proprietes afin de determiner au moins deux proprietes, par exemple, l'epaisseur de deux couches, de l'echantillon.