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Etude spectroscopique de défauts structuraux dans la couche mince de Ta2O5 déposée par pulvérisation
Etude spectroscopique de défauts structuraux dans la couche mince de Ta2O5 déposée par pulvérisation
2009
C. Joseph
P. Bourson
Jean-Marie Chassot
M. D. Fontana
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