倾角沉积制备Ta 2 O 5 薄膜的光学性质和微结构研究

本文利用电子束倾斜沉积技术制备了Ta 2 O 5 薄膜，并用扫描电镜研究了沉积角度对薄膜的表面形貌和微结构的影响。制备的Ta 2 O 5 薄膜为具有高度取向的斜柱状多孔结构，其有效折射率和堆积密度都随着沉积角度的增加而减小。Ta 2 O 5 薄膜的各向异性结构导致了薄膜的光学双折射特性，其最大双折射在沉积角为70°时达0.055。作者认为各向异性微结构和临界堆积密度是影响双折射的两大关键因素。