ПЛАЗМЕННЫЕ ИСТОЧНИКИ ИОНОВ ТВЕРДЫХ ВЕЩЕСТВ

Описаны три варианта конструкции источников ионов: 1) с полым катодом и системой анод-испаритель в задней части источника, 2) с цилиндрическим анодом, 3) с полым катодом и анодом в передней части. Показано, что эти источники наиболее пригодны для получения ионных пучков твердотельных элементов, обеспечивая ионные токи мкА (в случае Al, Bi, As, Sb), 25 мкА (Eu), 15–30 мкА (Fe, V, Cr, а также двухзарядные и молекулярные ионы). Они характеризуются относительно продолжительным временем работы (порядка десятков часов) и низким уровнем потребления энергии (300–400 Вт). Описан принцип действия ионных источников с учетом различия их конструкций. Представлены экспериментальные результаты: зависимости ионных токов от тока разряда, катодного тока и от индукции магнитного поля электромагнита источника, а также результаты компьютерных симуляций, которые базируются на численной модели ионизации атомов в источнике.