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RFマグネトロンスパッタ法によるAZO透明導電膜の結晶性に及ぼす基板温度の影響 : 材料分析室利用研究成果(その26 4)
RFマグネトロンスパッタ法によるAZO透明導電膜の結晶性に及ぼす基板温度の影響 : 材料分析室利用研究成果(その26 4)
2016
miki gotou
sigeru tei komatu
makoto misonoo
Goto Miki
Komatsu Shigeyoshi
Misonoo Makoto
Keywords:
Optoelectronics
Transparent conducting film
Materials science
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