吐出装置及びその制御方法、吐出方法、並びにデバイスの製造方法及びデバイス

【課題】 液状粘性物の吐出位置ずれを生ずることなく液状粘性物の吐出量を精度良く制御することができる吐出装置及びその制御方法等を提供する。 【解決手段】 ヘッド１０は液状粘性物を吐出する複数のノズルと、各々のノズルに対応した圧電体素子２８とを備えている。各ノズルは圧電体素子２８の各々に同一の駆動波形を印加したときに吐出される液状粘性物の重量に応じて区分されている。制御部２４は、各区分に応じた波形を有する駆動パルスを駆動信号生成部２６に生成させ、区分の各々含まれるノズルに対応する圧電体素子２８に対して区分に応じた波形を有する駆動パルスを区分毎に印加する。 【選択図】 図２