Structural and Optical Properties of Zinc Nitride Films Prepared by Pulsed Filtered Cathodic Vacuum Arc Deposition

多晶的锌氮化物电影被搏动的过滤 cathodic 真空弧免职(PFCVAD ) 在 Corning 7059 玻璃底层上扔。结晶的结构借助于 X 光衍射被学习。这些大小证明所有这些电影在立方的结构被使结晶，在比较喜欢的取向沿着(332 ) 并且(631 ) 方向。弱 XRD 信号显示出在非结晶的纸巾散布的小雏晶。crystallinity 的小改进与退火被观察。光参数象吸收那样，精力乐队差距， Urbach 尾巴，扑灭系数被决定了。Urbach 尾巴精力与在 500 ° C 退火一个小时被减少。精力乐队差距价值被发现被退火增加。