로딩 챔버와 얼라인 챔버가 통합된 증착 시스템

본 발명은, 기판의 로딩과 기판/마스크 얼라인을 하나의 통합된 챔버에서 한꺼번에 실시할 수 있도록 통합 챔버를 구성하였다. 즉, 마스크가 대기하던 버퍼 1 챔버/로딩 챔버/얼라인 챔버 사이에 있던 게이트 밸브들을 모두 없애 이들을 하나의 통합된 챔버로 구성하고, 두 장의 기판을 동시에 나란히 탑재하여 이송할 수 있는 더블 셔틀를 제공하여, 더블 셔틀의 한편에는, 회수라인으로부터 챔버 안으로 마스크와 척 플레이트가 반입되면 마스크와 척 플레이트를 받아 탑재하고, 더블 셔틀의 다른 한편에는 증착 라인으로 가기 위한 기판을 로딩하여 마스크와 얼라인 하도록 하였다. 상기 더블 셔틀는 기판 로딩 및 얼라인 해야할 척 플레이트/마스크와 증착 라인으로 반송될 준비가 완료된, 척 플레이트/기판/마스크를 동시에 탑재하여 전진함으로써 종래 3개의 챔버에서 각각 공정을 실시하며 한 챔버 씩 박자를 맞추어 옮겨가던 공정을 하나의 통합 챔버에서 한 박자 동안 실시하고 한 박자에 해당하는 거리를 옮겨 감으로써 완성한다.