Appareils et procédés de régulation de température de substrat pendant la fabrication solaire de film mince

De facon generale, dans certains modes de realisation, l'invention concerne des appareils et des procedes de regulation de temperature de substrat pendant la fabrication solaire de film mince. Dans un mode de realisation, l'invention propose un procede de formation d'une pile solaire a film mince sur un substrat. Le procede consiste a realiser un procede de stabilisation de surface sur un substrat pour prechauffer le substrat pendant une periode de stabilisation de substrat dans une premiere chambre ; a calculer une periode d'attente pour une seconde chambre, la periode d'attente etant basee sur la disponibilite de la seconde chambre ; a calculer la disponibilite d'un robot de transfert sous vide adapte pour transferer le substrat de la premiere chambre a la seconde chambre ou une combinaison de la disponibilite de la seconde chambre et de la disponibilite du robot de transfert sous vide ; a ajuster la periode de stabilisation de temperature pour compenser la perte de chaleur du substrat pendant la periode d'attente.