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CMOS集積化のためのSiO 2 被覆ポリシリコン可動構造体を有するマイクロミラー
CMOS集積化のためのSiO 2 被覆ポリシリコン可動構造体を有するマイクロミラー
2012
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tokuo fuzituka
keiiti simaoka
gaku kagami
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Keywords:
Electronic engineering
FO4
Computer science
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