ビス（アルキルシクロペンタジエニル）ルテニウム錯体の合成方法、使用済の該錯体の精製方法及び該錯体の再利用方法

(57)【要約】 【課題】 高い収率でＲｕ(ＲＣｐ) 2 を合成する方法を 提供する。ＭＯＣＶＤ法で成膜した後のＲｕ(ＲＣｐ) 2 を成膜前と同等の品質に精製する方法を提供する。精製 したＲｕ(ＲＣｐ) 2 をＭＯＣＶＤ法の原料として再利用 する方法を提供する。 【解決手段】 ビス(アルキルシクロペンタジエニル)ル テニウム錯体の合成方法の改良であり、(a)工程で塩化 ルテニウム無水物とナトリウムエチルシクロペンタジエ ン又はナトリウムイソプロピルシクロペンタジエンを金 属ルテニウムとともに第１溶媒中で反応させ、(b)工程 で第１溶媒を除去した後に、反応物を第２溶媒に溶解し て抽出し、(c)工程で抽出液から第２溶媒を除去して蒸 留する。特徴ある構成は、(b)工程と(c)工程の間で抽出 液を吸着剤が充填されたカラム内に通過させる工程を更 に含むところにある。