Dispositif d'inspection de défaut et procédé d'inspection

La presente invention concerne un procede d'inspection de defaut permettant de detecter de facon fiable la lumiere diffusee depuis un petit defaut en reduisant l'influence de la lumiere diffusee de bruit de fond et en rendant la lumiere diffusee depuis le defaut plus detectable. Dans ce procede d'inspection de defaut, un faisceau laser ayant un etat de polarisation et une distribution d'intensite ajustees est emis sur un echantillon depuis une direction inclinee, la lumiere diffusee est condensee, la lumiere diffusee est detectee au moyen d'une pluralite de detecteurs, les signaux detectes sont traites, un defaut de surface de l'echantillon est extrait, et des informations sur le defaut extrait sont transmises en sortie. La lumiere diffusee est detectee par condensation de la lumiere diffusee generee par l'echantillon au moyen d'une lentille de condenseur, ajustement de direction de polarisation de la lumiere diffusee condensee, separation de la lumiere diffusee en fonction des directions de polarisation, et detection de la lumiere diffusee au moyen d'une pluralite de detecteurs. Le defaut est extrait par traitement des signaux de sortie de la pluralite de detecteurs au moyen de l'application d'un gain aux signaux de detection de lumiere diffusee divises en differentes directions de polarisation de lumiere diffusee, distinction du defaut a partir du bruit, et detection du defaut.