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Acemap > Paper > SnO2タ-ゲットを用いた反応性スパッタリングによる新しい酸素選択透過膜 (表面・界面の機能化(論文特集))

SnO2タ-ゲットを用いた反応性スパッタリングによる新しい酸素選択透過膜 (表面・界面の機能化(論文特集))

1985 
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