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Dispositif capacitif de mesure de pression et procédé de fabrication pour ce dispositif
Dispositif capacitif de mesure de pression et procédé de fabrication pour ce dispositif
2008
Remigius Niekrawietz
Marko Rocznik
Ulrike Scholz
Janpeter Wolff
Keywords:
Analytical chemistry
Materials science
Fabrication
Optoelectronics
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