反射防止膜、当該反射防止膜を有する光学系、露光装置、並びに、デバイス製造方法

【課題】 広い入射角度に対して優れた反射防止特性を有すると共に、偏光による反射率の差を低減して、優れた光学性能を達成可能な反射防止膜、当該反射防止膜を有する光学系、露光装置、並びに、デバイス製造方法を提供する。 【解決手段】 基板上に施され、光の反射を防止する反射防止膜であって、前記基板側から順に、前記基板より屈折率の低い第１の層と、前記基板より屈折率の高い第２の層と、前記基板より屈折率の低い第３の層とを有し、前記光の波長λ ０ に対して、前記第１の層の光学的膜厚ｄ１、前記第２の層の光学的膜厚ｄ２及び前記第３の層の光学的膜厚ｄ３が、１．０２λ ０ ≦ｄ１≦１．０７５λ ０ 、｛（−２．６０７８×ｄ１／λ ０ ＋２．９９８４）−０．０２｝×λ ０ ≦ｄ２≦｛（−２．６０７８×ｄ１／λ ０ ＋２．９９８４）＋０．０２｝×λ ０ 、及び、｛（−１．３００７×ｄ１／λ ０ −１．０９０６）−０．０２｝×λ ０ ≦ｄ３≦｛（−１．３００７×ｄ１／λ ０ −１．０９０６）＋０．０２｝×λ ０ 、を満足することを特徴とする反射防止膜を提供する。 【選択図】 図１