원격 라디칼 드라이 클리닝 장치 및 이를 이용한 클리닝 방법

원격 라디칼 드라이 클리닝 장치 및 이를 이용한 클리닝 방법이 개시된다. 본 발명은 페라이트 코어(Ferrite Core)를 이용한 변압기 결합 플라즈마(TCP)와 유도 결합 플라즈마 소스(ICP Source)를 직렬로 연결한 텐덤형 소스를 원격 플라즈마로 사용하고, 원격 플라즈마와 챔버가 연결되는 통로에 + 디씨 파워(DC power)를 인가하여 라디칼과 함께 통과하는 이온의 양을 조절하고, 웨이퍼 척(wafer chuck)에 - 디씨 파워(DC power)를 펄스로 인가하여 이온의 에너지를 조절하여 이온의 충돌에 의한 임계치수의 손실없이 딥(deep) 컨택홀 바닥에 에너지를 전달하여 반응성을 증가하여 폴리머성 잔류물, 자연산화막, 실리콘 데미지 레이어를 효과적으로 제거 할 수 있고 추가 열처리 공정 없이 in-situ로 실리콘(Si) 표면에 패시베이션(passivation)을 진행할 수 있게 된다.