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유도 결합 플라즈마 스퍼터 승화법을 이용한 Cr 박막 증착 및 특성 분석
유도 결합 플라즈마 스퍼터 승화법을 이용한 Cr 박막 증착 및 특성 분석
2012
Ji-Seong Choe
Jeong-Hun Ju
Keywords:
Analytical chemistry
Materials science
Inductively coupled plasma
Optical Emission Spectrometer
DC bias
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