リニアモータ、及びこれを備えるステージ装置、露光装置並びにデバイス製造方法

【課題】角筒環状コイルを持つリニアモータにおいて、主駆動軸以外の方向への駆動制御を可能にし、リニアモータの主駆動軸方向以外の他成分の位置制御を可能とし、より高精度の位置決めを可能にする。 【解決手段】主駆動軸まわりに角筒環状に固定子ヨーク５に巻線されたＹ環状コイル３と、Ｙ環状コイル３に所定間隙を持って平面的に対向配置されるＹ可動子マグネット６と、Ｙ環状コイル３に絶縁部材２を介して固定されたＸ環状コイル１１と、Ｘ環状コイル１１に所定間隙を持って平面的に対向配置されるＸ可動子マグネット１２とを有し、Ｙ環状コイル３を励磁することによりＹ可動子マグネット６を主駆動軸方向に駆動可能とすると共に、Ｘ環状コイル１１を励磁することによりＸ可動子マグネット１２を主駆動軸に対して直交する方向に駆動可能とした。 【選択図】 図１