방전 여기형 엑시머 레이저 특정 및 반도체 산업에의 응용

방전 여기형 소형 엑시머 레이저를 설계제작하고 레이저의 출력 특성및 혼합 가스비율이 미치는 레이저 특성을 조사하였다. 방전 여기 회로로서 용량이행형 회로를 구성하고 방전회로의 분석과 함께 주 축전용량과 peaking 축전용량의 비율및 HCl 농도 변화가 장펄스 발진에 미치는 효과를 기술하였다. 엑시머 레이저의 비정질 반도체 재결정화 연구및 전자 산업에 대한 응용연구를 논하였다.