Substrate and manufacturing method

在廉价的石墨基板上设置无定形碳层，采用电解沉积法在上述无定形碳层上使c轴取向的氧化锌的单晶生长。 ZnO和GaN为相同的纤锌矿型的晶体结构，晶格失配非常小，因此，形成有单晶ZnO的石墨基板不仅能够作为用于形成ZnO半导体层的同质外延生长用的基板使用，还能够作为使用了GaN半导体层的异质外延生长用的基板使用。