金属モリブデン塗布膜の製造方法、及び金属モリブデン塗布膜、並びにその製造方法に用いられる金属モリブデン塗布膜形成用塗布液

2012 
【課題】密着性と膜強度に優れ、高い導電性を兼ね備える、金属モリブデン塗布膜を低コストかつ簡便な塗布法によって形成する金属モリブデン塗布膜の製造方法、及びこの製造方法で得られる金属モリブデン塗布膜を提供する。 【解決手段】有機モリブデン化合物を含む金属モリブデン塗布膜形成用塗布液を用いて耐熱性基板上に塗布膜を形成する塗布工程、その塗布膜を乾燥塗布膜とする乾燥工程、その乾燥塗布膜を加熱処理により無機化、及び還元して、金属モリブデンを主成分とする金属膜を形成する加熱還元工程の各工程を経て形成される金属モリブデン塗布膜の製造方法により、金属モリブデンを主成分とする金属微粒子が緻密に充填した金属微粒子層を形成する。 【選択図】図2
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