Dispositif et procédé pour générer un plasma avec un état d’ionisation défini et stable

L’invention concerne un generateur d’impulsions pour installations de pulverisation cathodique avec lequel des impulsions peuvent etre generees avec un flux de courant constant au moins en phases ainsi qu’un procede pour exciter et/ou generer un plasma avec de telles impulsions. L’invention concerne egalement une installation de pulverisation cathodique.