Modul und Verfahren für die Modifizierung von Substratoberflächen bei Atmosphärenbedingungen

Die Erfindung betrifft ein Modul und Verfahren fur die Modifizierung von Substratoberflachen bei Atmospharenbedingungen mit einem Plasma, wobei im Wesentlichen bei normalen Umgebungsatmospharenbedingungen gearbeitet werden soll. Gemas der gestellten Aufgabe soll ein Einsatz in flexibler Form und/oder auf grosflachigen Oberflachen von Substraten erfolgen konnen. Beim erfindungsgemasen Modul ist hierfur ein mobiler Trager fur eine Plasmaquelle vorhanden, der in Richtung auf eine jeweilige Substratoberflache mindestens eine Austrittsoffnung fur Plasma aufweist. Zwischen umlaufend um die Austrittsoffnung(en) ausgebildeten Abgasabsaugung der Substratoberflache ist ein Reaktionsraum ausgebildet. Auserdem ist eine radial ausere ebenfalls umlaufend ausgebildete Spulgaszufuhrung in einen Spalt zwischen Trager und Substratoberflache fur eine fluiddynamische Abdichtung zur umgebenden Atmosphare vorhanden. Der Trager ist dann entlang mindestens einer Achse in Bezug zur Substratoberflache bewegbar.