Изменение структуры и свойств приповерхностного слоя Si, имплантированного Zn, в зависимости от флюенса облучения ионами -=SUP=-132-=/SUP=-Xe-=SUP=-26+-=/SUP=- с энергией 167 МэВ
2019
- Correction
- Source
- Cite
- Save
- Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI