Systeme de couches dlc et procede pour produire un tel systeme

2000 
L'invention concerne un procede et un dispositif pour produire un systeme de couches destine a assurer une protection contre l'usure et la corrosion, et a ameliorer les proprietes de glissement ou similaires. Ce systeme comprend une couche adhesive appliquee sur un substrat, une couche de transition appliquee sur la couche adhesive et une couche de recouvrement constituee de carbone de type diamant. La couche adhesive contient au moins un element du groupe qui comprend les elements du 4ieme, 5ieme et 6ieme sous-groupe et le silicium. La couche de transition contient du carbone et au moins du groupe mentionne ci-dessus, et la couche de recouvrement est constitue principalement de carbone de type diamant. Ce systeme de couches presente une durete d'au moins 15 GPa, de preference d'au moins 20 GPa et une adherence d'au moins 3 HF selon VDI 3824 feuille 4.
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