Röntgenfluoreszenzanalysator zur Verwendung als wellenlängendispersiver Analysator und energiedispersiver Analysator

Rontgenfluoreszenzanalysevorrichtung mit: einer Detektoreinrichtung zum Erfassen und Analysieren eines Rontgenfluoreszenzstrahls (5), der von mindestens einem vorgegebenen Targetbereich (1a) einer zu analysierenden Probe (1) als Ergebnis einer Anregung des Targetbereichs (1a) durch einen primaren Rontgenstrahl (3) emittiert wird; wobei die Detektoreinrichtung eine wellenlangendispersive Detektoreinrichtung (6) mit einem Spektroskop (8) und einem ersten Detektor (9) und eine energiedispersive Detektoreinrichtung (11) mit einem energiedispersiven zweiten Detektor (12) aufweist; und wobei ein erster Winkel (θ1), der zwischen einem ersten Strahlenweg (81) des Rontgenfluoreszenzstrahls vom Targetbereich (1a) zum Spektroskop (8) und einer Oberflache der Probe (1) gebildet wird, einem zweiten Winkel (θ2) gleicht, der zwischen einem zweiten Strahlenweg (82) des Rontgenfluoreszenzstrahls vom Targetbereich (1a) zum energiedispersiven zweiten Detektor (12) und einer Oberflache der Probe (1) gebildet wird, wobei der zweite Strahlenweg (82) des Rontgenfluoreszenzstrahls kleiner ist als der erste Strahlenweg (81) des Rontgenfluoreszenzstrahls, ferner mit einem Detektorantriebsmechanismus (50–53) zum selektiven...