Verfahren zur Herstellung eines BAW-Bauelements und BAW-Bauelement

Verfahren zur Herstellung eines BAW-Bauelements, – bei dem zunachst ein Schichtaufbau, umfassend ein grosflachiges Substrat, eine untere Elektrode, darauf eine piezoelektrische Schicht und darauf eine obere Elektrode integriert durch Strukturieren der Elektroden so hergestellt wird, dass sich eine Mehrzahl von Bauelementbereichen mit je zumindest einer Bauelementstruktur darin ergibt, – bei dem uber das Substrat ganzflachig eine Abdeckung aufgebracht wird, die uber jedem Bauelementbereich eine Ausnehmung aufweist, die jeweils dem Bauelementbereich zugeordnete Bauelementstrukturen uberdeckt, wobei ein Schichtverbund entsteht, – bei dem von einer der Oberflachen her zwischen jeweils zwei Bauelementbereichen erste Schnitte so in den Schichtverbund gefuhrt werden, dass an deren Schnittkanten pro Bauelementbereich zumindest beide Elektroden angeschnitten werden, – bei dem eine Metallisierung auf der genannten Oberflache des Schichtverbund strukturiert so aufgebracht wird, dass die jeweils in einem Schnitt angeschnittenen Elektroden mit je einem auf der Oberflache angeordneten Anschlusskontakt elektrisch leitend verbunden sind, – wobei die untere und die obere Elektrode die jeweilige Aussenkante auf unterschiedlicher Hohe schneiden, – wobei die piezoelektrische Schicht ganzflachig aufgebracht und nicht strukturiert wird, – bei dem die untere Elektrode zwischen Substrat und piezoelektrischer Schicht angeordnet wird, – bei dem das BAW-Bauelement zusammen mit anderen Bauelementen im Verbund hergestellt wird.