Composite charged particle

Es wird eine zusammengesetzte Ladungsteilchenstrahlvorrichtung bereitgestellt, die umfasst: eine FIB Saule (1); eine SEM Saule (2), die im Wesentlichen in einem rechten Winkel bezuglich der FIB Saule (1) angeordnet ist; einen Probentisch (3) zum Befestigen einer Probe (4); einen Sekundarelektronendetektor (5) zum Detektieren eines aus der Probe (4) erzeugten Sekundarteilchens; ein Beobachtungsbild-Entwicklungsteil (8) zum Formen eines FIB Bildes und eines SEM Bildes basierend auf einem Erkennungssignal; und ein Sichtanzeigeteil (9) zum Darstellen des FIB Bildes und des SEM Bildes, in dem eine horizontale Richtung der Probe in dem FIB Bild und eine horizontale Richtung der Probe in dem SEM Bild dieselben sind.