微細構造体の製造方法、２値マスク、および２値マスクの製造方法

(57)【要約】 【課題】 曲面などのグレーレベルの形状をグレーマス クを用いずに製造可能とする。 【解決手段】 露光装置の最小分解能より小さい面積単 位のドット６１を備えた２値マスク６０を提供する。こ のドット６１のオン・オフの面積比率により、２値マス ク６０を透過する露光量を制御することにより、マスク ６０のドット６１のパターンを忠実に再現するのではな く、面積比率に対応した濃淡で被加工体を露光し、グレ ーレベルの構造を加工することができる。