一种基体表面的VC-a‑C:H纳米复合涂层及其制备方法

本发明提供一种VC-a‑C:H纳米复合涂层，由硬质相纳米晶VC与润滑相非晶a‑C:H组成，并且以a‑C:H为基质，纳米晶VC弥散于该基质中，不仅保持了传统VC硬质涂层高硬度、低磨损的特点，同时具有a‑C:H材料优异的自润滑特性，对在高磨损、高摩擦环境下作业的基体能起到良好的防护作用，具有很好的应用价值。本发明还提供采用采用多弧离子镀技术，以金属V为靶材，C 2 H 2 为反应气体，通过控制V靶电流和-或碳源C 2 H 2 的气体流量可调控涂层中V元素与C元素含量，进而调控涂层中VC相与a‑C:H相的含量。