基板処理装置、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板の搬送方法

【課題】処理部の異常の有無をリアルタイムに判断し、且つ不良品ウェハが多量に生産されることを防止する。 【解決手段】塗布現像処理装置は、ウェハ搬送機構と、欠陥検査部と、ウェハの搬送を制御する搬送制御手段２００と，欠陥の状態に基づいて当該欠陥の分類を行う欠陥分類手段２０３と、処理ユニットによりウェハが処理された際のウェハ搬送機構によるウェハの搬送順路を記憶する記憶手段２０２と、欠陥分類手段２０３により分類された欠陥の種類と、記憶手段２０２に記憶された基板の搬送順路に基づいて、当該分類された欠陥が発生した処理ユニットを特定する欠陥処理特定手段２０４と、欠陥が発生したと特定された処理部の異常の有無を判定する欠陥処理特定手段を有し、搬送制御手段２００は、欠陥処理特定手段２０４により異常と判定された処理ユニットを迂回してウェハを搬送するようにウェハ搬送機構の制御を行う。 【選択図】図７