リソグラフィ装置、デバイス製造方法、及びその方法により製造したデバイス

【課題】例えば、浸漬リソグラフィ装置内での焦点合せが改善されたリソグラフィ投影装置を提供すること。 【解決手段】基板は、液体供給システムから供給された浸漬液の中で露光される。露光前に、測定部で基板表面のマップが生成される。測定が液体中で行われるように、測定システムと基板の間の空間が液体供給システムによって満たされる。 【選択図】図５