基板処理装置、基板搬送装置、および基板処理方法

(57)【要約】 【課題】 成膜室内への処理前基板搬送動作と、基板予 備室への処理済み基板搬送動作とを同時に行って、基板 処理サイクルを短縮し、単位時間当たりの基板処理枚数 を増加する。 【解決手段】 真空搬送室Ｔ２を中心にして一軸上に成 膜室Ｒ、基板予備室Ｌ／Ｈを配置する。基板予備室Ｌ／ Ｈに２段構成の処理前基板収納スロットＨと処理済み基 板収納スロットＬとを設ける。真空搬送室Ｔ２に２段構 成の上段アーム２０１と下段アーム２０２とを伸縮自在 に設け、両アーム２０１、２０２は同時に直進動作をす る。下段アーム２０２が成膜室Ｒに処理済み基板Ｕ２を 受取りに行く動作中に、上段アーム２０１が基板予備室 Ｌ／Ｈに処理前基板Ｕ１を受取りに行く。上段アーム２ ０１は受取った処理前基板Ｕ１を処理室Ｒへ、また下段 アーム２０２が受取った処理済み基板Ｕ２は処理済み基 板収納スロットＬへ搬送する。